Penning Gauge Inficon PSG500 – Đầu đo chân không Pirani

Đầu đo chân không Pirani PSG500 sử dụng công nghệ Pirani tiên tiến nhất trên thị trường.

Với thành phần cảm biến làm từ thép không rỉ, thiết kế nhỏ gọn để sử dụng cho các  hệ thống bán dẫn và các hệ thống chân không như mạ PVD, đúc chân không …

Giải pháp thay thế trực tiếp cho dòng TTR-91 / TTR-96 Leybold vacuum gauge

Thông số kỹ thuật chung

Khoảng đo: 5 x 10^-4 … 1000 mbar

Độ chính xác (N₂)

• 1 x 10^-3 … 100 mbar : ± 15% giá trị đọc
• 5 x 10^-4 … 1 x 10^-3 mbar: ± 50% giá trị đọc
• 100 … 1000 mbar: ± 50% giá trị đọc

Độ lặp lại (Air)

• 1 x 10^-3 … 100 mbar : ± 2% giá trị đọc

download